Máy làm sạch chân không plasma 25L dùng trong phòng thí nghiệm, tích hợp màn hình cảm ứng PLC 7 inch.

Giới thiệu sản phẩm

NE-PE25H Máy làm sạch bằng plasma chân không Máy này lý tưởng cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu đại học, trung tâm R&D doanh nghiệp và sản xuất theo lô nhỏ. Được trang bị buồng chân không hình vuông bằng thép không gỉ được chế tạo bằng phương pháp hàn cấp quân sự, điện cực hai lớp tích hợp, hai kênh dẫn khí độc lập và cấu trúc mở phía trước với hệ thống tuần hoàn khí thải phía sau, máy giúp đảm bảo lượng khí hút vào đồng đều và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời. Màn hình cảm ứng thân thiện với người dùng hỗ trợ giám sát thông số theo thời gian thực, lưu trữ nhiều công thức quy trình với khả năng truy xuất nguồn gốc dữ liệu đầy đủ và loại bỏ nhu cầu sử dụng bộ trộn khí bổ sung để thử nghiệm tỷ lệ khí khác nhau.

Hệ thống plasma này giúp tăng cường đáng kể độ bám dính và tính ưa nước của chất nền, mang lại khả năng xử lý ổn định và lặp lại cho các quy trình cốt lõi bao gồm làm sạch chất gây ô nhiễm hữu cơ, sửa đổi bề mặt ưa nước/kỵ nước, khắc vi mô chính xác, liên kết chip vi lưu PDMS và loại bỏ tro quang trở. Nó được ứng dụng rộng rãi trong liên kết vật liệu, phủ lớp, lắng đọng màng chất nền và tất cả các loại dự án nghiên cứu vật liệu bán dẫn mới.

Ứng dụng sản phẩm

Tính năng sản phẩm

1. Buồng chân không bằng thép không gỉ được gia công bằng phương pháp hàn tiêu chuẩn quân sự, có hiệu suất làm kín vượt trội và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời.

2. Tích hợp hai lớp điện cực và khay xử lý nhiều lớp giúp tối ưu hóa đáng kể việc sử dụng không gian.

3. Giao diện màn hình cảm ứng thân thiện với người dùng, hiển thị các thông số quy trình theo thời gian thực.

4. Hỗ trợ lưu trữ nhiều công thức quy trình để gọi lại chỉ bằng một cú nhấp chuột, với dữ liệu vận hành có thể truy xuất đầy đủ.

5. Được trang bị hai kênh dẫn khí độc lập; không cần thêm bộ trộn khí, thuận tiện cho việc thử nghiệm các công thức tỷ lệ khí khác nhau.

6. Thiết kế cửa mở phía trước kết hợp với ống xả phía sau tạo ra sự tuần hoàn khí động bên trong. Lượng khí hút vào đồng đều mang lại hiệu quả làm sạch nhất quán.

Bản vẽ phác thảo máy và sơ đồ buồng chân không

 

 

Thông số kỹ thuật

 

KHÔNG.	Loại	Thông số kỹ thuật	Tham số
1	Máy phát plasma	Quyền lực	Công suất 0–1000W, có thể điều chỉnh liên tục.
		Tính thường xuyên	40 KHz
2	Buồng phản ứng chân không	Vật liệu buồng	Thép không gỉ 316 nhập khẩu với bề mặt bóng loáng đạt tiêu chuẩn quân sự.
		Thể tích buồng	380(Rộng)×390(Sâu)×170(Cao) mm; 25L
		Không gian xử lý hiệu quả	333(Rộng) × 320(Sâu) mm
3	Điện cực phóng điện	Điện cực	3 điện cực hợp kim nhôm dẫn điện cao đặc biệt
		Các lớp xử lý	2 lớp
		Chế độ xả	Phóng điện phản ứng plasma ghép điện dung CCP
		Khoảng cách giữa điện cực dương và điện cực âm	50 mm
		Khoảng cách khay	30 mm
4	Kiểm soát đường dẫn khí	Bộ điều khiển lưu lượng khối	300 SCCM
		Thiết kế mạch khí	Thiết kế hút gió đồng đều hai bên giúp đảm bảo kết quả làm sạch và khắc axit nhất quán.
		Kênh khí	2 đường dẫn khí, tương thích với O₂, Ar, N₂, H₂, vân vân.
			(Vui lòng thông báo trước nếu cần sử dụng khí ăn mòn)
5	Đo chân không	Hệ thống đo chân không	Phạm vi đo: 5×10⁻² ~ 1,0×10⁵ Pa
			Độ chính xác đo: 0,1 Pa
6	Hệ thống bơm	Bơm chân không	16 m³/h
		Đường ống chân không	Ống thép không gỉ + van khí nén
7	Hệ thống điều khiển	Chế độ điều khiển	PLC
		Màn hình cảm ứng	Màn hình cảm ứng 7 inch
		Chương trình phần mềm	Hệ thống điều khiển plasma tự phát triển và được cấp bằng sáng chế
8	Điều kiện trang web	Nguồn điện	220V, 50/60Hz, 13A
		Đầu nối ống dẫn khí	Φ6 mm
		Độ tinh khiết khí cần thiết	99,99%
		Áp suất khí đầu vào	0,3–0,6 MPa
		Cổng xả	Mặt bích KF25
9	Thông số kỹ thuật tổng thể của máy	Kích thước tổng thể	650mm (Dài) × 649mm (Rộng) × 666mm (Cao)
		Trọng lượng tịnh	80kg
		Tổng mức tiêu thụ điện năng	3 KW

 

Môi trường vận hành (Các hạng mục do khách hàng chuẩn bị)

 

KHÔNG.	Mục	Yêu cầu
1	Nguồn cung cấp điện và tình trạng lưới điện	Điện áp đầu vào: 220V, 50/60Hz; sai số lưới điện cho phép ±10%. Dây nối đất bảo vệ phải tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế. Không được có nhiễu điện từ mạnh gần khu vực lắp đặt thiết bị.
2	Điều kiện môi trường lắp đặt	Nhiệt độ môi trường: 0–40°C; Độ ẩm tương đối: 15%–60%.
3	Chuẩn bị nguồn khí	Bình khí oxy, argon, nitơ, hydro, v.v. (phải được trang bị van giảm áp). Áp suất khí đầu vào > 0,3 MPa; Đường kính khớp nối khí: Φ6 mm.
4	Ống xả	Kết nối với cổng xả của bơm chân không (bắt buộc đối với các ứng dụng phòng sạch).