Industrial Vacuum Plasma Cleaning Machine

Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp, buồng 165L dùng cho sản xuất hàng loạt bao bì bán dẫn.

Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp này sử dụng công suất RF 13,56MHz và điều khiển cảm ứng PLC. Được trang bị buồng kín đạt tiêu chuẩn quân sự, hai chế độ plasma và hai kênh khí điều chỉnh được, máy có thể lưu trữ tới 100 công thức xử lý và cung cấp khả năng xử lý plasma đồng đều.

Thương hiệu :
HYRNUS
Mã số sản phẩm :
HY-EI160
Số lượng đặt hàng tối thiểu (MOQ) :
1 Set
Bảo hành :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenance
Sự chi trả :
T/T
Thời gian giao hàng :
7-35 Days
Nguồn gốc sản phẩm :
China

LIÊN HỆ NGAY

Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp, buồng 165L dùng cho sản xuất hàng loạt bao bì bán dẫn.

Giới thiệu sản phẩm

HY-EI160 Máy hút chân không plasma sản xuất công nghiệp Đây là thiết bị làm sạch khô chính xác. Nó chuyên xử lý các mạch tích hợp lai, các gói IC nguyên khối và chất nền gốm, được sử dụng rộng rãi trong ngành bán dẫn, đóng gói điện tử, khắc sau trên tấm wafer, đầu nối và các linh kiện điện tử chính xác.

Nó loại bỏ hiệu quả dầu mỡ, cặn bẩn hữu cơ và oxit kim loại, đồng thời đạt được khả năng hoạt hóa bề mặt đáng tin cậy cho các vật liệu nhựa, cao su, kim loại và gốm sứ.

Ứng dụng sản phẩm

1. Làm sạch: Loại bỏ các chất hữu cơ, oxit, muối kim loại, chất gây ô nhiễm dạng hạt nano và các tạp chất khác.

2. Kích hoạt bề mặt: Điều chỉnh các đặc tính ưa nước và kỵ nước, tăng năng lượng bề mặt, đưa các nhóm chức vào và cải thiện khả năng tương thích sinh học.

3. Khắc axit: Tạo hình bề mặt, khắc vi mô và điều chỉnh hình thái & độ nhám bề mặt.

4. Liên kết: Liên kết cho các thiết bị vi lưu như chip PDMS.

5. Loại bỏ: Quá trình đốt tro chất cản quang, loại bỏ lớp màng đáy và các quy trình loại bỏ khô khác.

Industrial Production Vacuum Plasma Cleaning

Tính năng sản phẩm

1. Máy phát plasma RF mật độ cao 13,56MHz với chức năng tự động điều chỉnh trở kháng, mật độ plasma ổn định mang lại kết quả xử lý lặp lại và ổn định.

2. Hệ thống điều khiển PLC màn hình cảm ứng với đầy đủ chức năng khóa an toàn, điều khiển ổn định và vận hành thân thiện với người dùng.

3. Buồng chân không hàn đạt tiêu chuẩn quân sự với khả năng làm kín và chống ăn mòn vượt trội.

4. Khả năng lưu trữ 100 nhóm công thức quy trình, truy xuất thông số nhanh chóng giúp giảm thiểu lỗi thao tác của con người.

5. Hai chế độ làm việc (plasma trực tiếp và plasma phía hạ lưu) với khoảng cách làm việc có thể điều chỉnh để phù hợp với nhiều loại phôi khác nhau.

6. Thiết kế điện cực dạng tấm song song có lỗ giúp phân bố đều lượng plasma.

7. Hai kênh dẫn khí độc lập với khả năng điều khiển lưu lượng chính xác, dễ dàng thử nghiệm các tỷ lệ khí khác nhau để đạt hiệu quả làm sạch tối ưu.

Bản vẽ phác thảo máy và sơ đồ buồng chân không

PDMS oxygen plasma treatment

Thông số kỹ thuật

Loại	Mục	Tham số
1. Bộ điều khiển máy phát plasma	Công suất đầu ra trạng thái rắn	Công suất điều chỉnh và hiển thị từ 0–1000W, đầu ra sóng sin chuẩn, độ ổn định ≤ ±0.5%; có chức năng bảo vệ quá áp, quá dòng, quá nhiệt và bảo vệ công suất phản xạ.
	Bộ phối hợp trở kháng RF chống bức xạ	Tự động ghép nối tốc độ cao trong vòng 0.1 giây, hỗ trợ giao tiếp mạng.
	Tần số RF	13,56 MHz
2. Buồng phản ứng chân không	Vật liệu buồng	Hợp kim nhôm hàng không với khả năng làm kín đạt tiêu chuẩn quân sự.
	Thể tích buồng	550×600×500 (Rộng×Sâu×Cao) mm, 165L
	Không gian xử lý hiệu quả một lớp	510(Rộng)×508(Sâu)×30(Cao) mm
3. Điện cực phóng điện	Vật liệu điện cực	Điện cực hợp kim nhôm có độ dẫn điện cao đặc biệt
	Các lớp có thể xử lý	8 lớp (có thể tùy chỉnh)
	Khoảng cách giữa cực dương và cực âm	51mm
4. Điều khiển mạch khí	bộ điều khiển lưu lượng khối MFC	0–500 SCCM
	Thiết kế mạch khí	Bố trí cửa hút gió đồng đều bên trong buồng để đảm bảo hiệu quả làm sạch đồng đều.
	Các kênh khí xử lý	2 kênh độc lập, tương thích với oxy, argon, v.v. Vui lòng thông báo trước nếu cần sử dụng khí ăn mòn.
5. Hệ thống đo chân không	Phạm vi đo	5×10⁻² ~ 1,0×10⁻⁵ Pa
5. Hệ thống đo chân không	Độ chính xác đo lường	0,1 Pa
6. Hệ thống bơm chân không	Bộ bơm chân không	Bơm cánh gạt quay dầu 60 m³/h + bơm Roots 300 m³/h
	Độ chân không khi làm việc	≤30Pa
	Thời gian sơ tán	Trong vòng hàng trăm
	Thời gian xả ra khí quyển	≤30 giây
	Đường ống chân không	Đường ống bằng thép không gỉ với van khí nén
7. Hệ thống điều khiển	Chế độ điều khiển	Điều khiển PLC
	Các mục giám sát thời gian thực	Độ chân không, áp suất không khí, công suất đầu ra, lưu lượng khí, thời gian làm việc
	Màn hình cảm ứng	Màn hình cảm ứng HMI 10 inch
	Chương trình phần mềm	Hệ thống điều khiển plasma độc quyền với 3 cấp độ quyền truy cập; chế độ tự động/thủ công, thiết lập/lưu trữ/gọi lại công thức, truy vấn lịch sử cảnh báo, giám sát tín hiệu IO
	Chức năng báo động	Bảo vệ chân không, bảo vệ phóng điện phát sáng, bảo vệ nguồn điện, cảnh báo áp suất không khí, cảnh báo trình tự pha
	Chức năng cân bằng áp suất	Cân bằng áp suất buồng trước khi dẫn khí vào, thời gian cân bằng có thể điều chỉnh.
8. Yêu cầu về tiện ích tại địa điểm	Nguồn điện	Điện xoay chiều một pha 380V, 50/60Hz, 3 pha 5 dây, 31A
	Cổng ống dẫn khí	Ống PU đường kính 6mm
	Độ tinh khiết khí cần thiết	≥99,99%
	Áp suất khí nén	0,6–0,8 MPa
	Phát hiện áp suất không khí	Đồng hồ đo áp suất tự động báo động 2 kênh
	Tiêu chuẩn cổng xả	Mặt bích KF40
9. Các thông số tổng thể của máy	Tổng công suất máy	11,5KW
9. Các thông số tổng thể của máy	Kích thước tổng thể	1170mm (Dài) × 1190mm (Rộng) × 1825mm (Cao)

Môi trường vận hành (Các hạng mục do khách hàng chuẩn bị)

KHÔNG.	Mục	Yêu cầu
1	Nguồn điện	Điện xoay chiều 3 pha 380V, 50/60Hz, dung sai dao động lưới điện ±10%; dây nối đất tuân thủ tiêu chuẩn quốc tế; không có nhiễu điện từ mạnh xung quanh khu vực lắp đặt.
2	Chuẩn bị nguồn khí	Bình khí đốt cho O₂, Ar, N₂, H₂ (có van giảm áp); đường kính đầu nối ống: Φ6mm
3	Phạm vi áp suất khí	0,30MPa~1,00MPa (3Kgf~10Kgf)
		• Cần có bộ giảm áp bên ngoài nếu áp suất vượt quá 1MPa
		• Máy tự động dừng và báo động khi không có nguồn cung cấp khí hoặc áp suất. <0,03 MPa (0,3 Kgf)
4	Đường ống xả	Kết nối với cổng xả của bơm chân không (bắt buộc đối với phòng sạch)

Chi tiết sản phẩm

Industrial Production Vacuum Plasma Cleaner

Industrial Vacuum Plasma Treatment System

THẺ NỔI BẬT :

Chủ thể : Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp, buồng 165L dùng cho sản xuất hàng loạt bao bì bán dẫn.

Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp, buồng 165L dùng cho sản xuất hàng loạt bao bì bán dẫn.

PDMS plasma oxy

Hệ thống làm sạch plasma buồng 165L

Xử lý plasma oxy PDMS

Máy hút bụi plasma công nghiệp

Máy làm sạch plasma chân không công nghiệp, buồng 165L dùng cho sản xuất hàng loạt bao bì bán dẫn.

Sản phẩm liên quan