Máy làm sạch plasma chân không ICP để bàn với buồng thạch anh 2,5L dùng trong nghiên cứu phòng thí nghiệm.

Giới thiệu sản phẩm

HY-EB03H Máy làm sạch plasma chân không ICP để bàn với buồng thạch anh 2,5L Đây là hệ thống xử lý bề mặt bằng plasma nhỏ gọn, được thiết kế riêng cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu đại học, trung tâm R&D doanh nghiệp và sản xuất thử nghiệm quy mô nhỏ. Được trang bị buồng xử lý bằng thủy tinh thạch anh hình trụ, hệ thống hoàn chỉnh bao gồm máy phát plasma RF, bơm chân không và hai cổng dẫn khí vào & ra độc lập. Áp dụng công nghệ plasma ghép nối cảm ứng ICP, hệ thống có thể tạo ra plasma mật độ cao đồng nhất một cách ổn định.

Thiết bị này giúp cải thiện hiệu quả độ bám dính bề mặt chất nền và tối ưu hóa tính ưa nước của bề mặt, được ứng dụng rộng rãi trong việc liên kết chip vi lỏng PDMS, phủ vật liệu, lắng đọng màng mỏng, loại bỏ chất cản quang và toàn bộ các quy trình sửa đổi bề mặt vật liệu.

Ứng dụng sản phẩm

Tính năng sản phẩm

1. Buồng chân không được làm bằng thủy tinh thạch anh, dễ vệ sinh và không bị nhiễm bẩn khi thử nghiệm mẫu.

2. Được trang bị bộ tạo plasma RF bán dẫn 13,56MHz với khả năng tự động điều chỉnh trở kháng, mang lại độ ổn định và khả năng lặp lại tuyệt vời.

3. Bảng điều khiển vận hành được thiết kế nghiêng 30° theo hướng công thái học, giúp thao tác dễ dàng và giao diện thân thiện với người dùng.

4. Hai kênh dẫn khí độc lập được trang bị bộ điều khiển lưu lượng cho phép thiết lập và điều chỉnh chính xác tốc độ dòng khí, tạo điều kiện thuận lợi cho việc nghiên cứu về ảnh hưởng của tỷ lệ khí khác nhau đến kết quả điều trị.

5. Công nghệ tạo plasma ghép nối cảm ứng ICP tạo ra plasma mật độ cao.

Bản vẽ phác thảo máy và sơ đồ buồng chân không

 

 

Thông số kỹ thuật

 

KHÔNG.	Mục	Thông số kỹ thuật.	Tham số
1	Máy phát plasma	Công suất đầu ra trạng thái rắn	Công suất điều chỉnh liên tục từ 0–15W, đầu ra sóng sin chuẩn, độ ổn định ≤±0.5%; tích hợp bảo vệ quá áp, quá dòng, quá nhiệt và bảo vệ công suất phản xạ.
		Tần số hoạt động	Nguồn điện RF bán dẫn 13,56 MHz
		Phối hợp trở kháng	Tự động ghép nối tốc độ cao trong vòng 0,1 giây, hỗ trợ giao tiếp mạng.
2	Buồng phản ứng chân không	Vật liệu buồng	kính thạch anh chịu nhiệt
		Thể tích buồng	2,5 lít
		Khay mẫu	Khay kính song song
		Kích thước buồng hình trụ	Φ105×300 (D) mm
3	Kiểm soát đường dẫn khí	Bộ điều khiển lưu lượng khối	300 SCCM
		Kênh khí	2 đường dẫn khí độc lập, tương thích với O₂, Ar, N₂, H₂, vân vân.
			Vui lòng thông báo trước nếu cần sử dụng khí ăn mòn.
4	Đo chân không	Hệ thống đo chân không	Phạm vi đo: 5×10⁻² ~ 1,0×10⁵ Pa
			Độ chính xác đo: 1 Pa
5	Hệ thống bơm	Bơm chân không	8 m³/H
6	Hệ thống điều khiển	Màn hình cảm ứng	7 inch
		Các mục giám sát thời gian thực	Công suất đầu ra, mức độ chân không, lưu lượng khí, thời gian xử lý, v.v.
		Chế độ điều khiển	Điều khiển PLC
		Phần mềm điều khiển	Hệ thống điều khiển plasma tự phát triển, được cấp bằng sáng chế, với 3 cấp độ quyền truy cập; chế độ tự động và thủ công, cài đặt thông số công thức, lưu và gọi lại, truy vấn lịch sử cảnh báo, giám sát tín hiệu IO.
		Chức năng bảo vệ báo động	Cảnh báo bảo vệ chân không, cảnh báo bảo vệ phóng điện phát sáng, cảnh báo bảo vệ nguồn điện
		Chức năng cân bằng áp suất	Hỗ trợ đầu vào khí xử lý để cân bằng áp suất, thời gian cân bằng có thể điều chỉnh.
7	Điều kiện vận hành trang web	Nguồn điện	220V±10% 50/60Hz 9A
		Phụ kiện ống dẫn khí	Cổng đường kính 6mm
		Độ tinh khiết khí cần thiết	99,99%
		Áp suất khí đầu vào	0,4–0,6 MPa
		Cổng xả	Giao diện mặt bích KF25
8	Thông số tổng thể của máy	Tổng công suất máy	≤ 2 kW
		Kích thước tổng thể bên ngoài	551,5mm (Dài) × 480mm (Rộng) × 546,5mm (Cao)

 

Môi trường vận hành (Các hạng mục do khách hàng chuẩn bị)

 

KHÔNG.	Mục	Yêu cầu
1	Nguồn điện & Công suất định mức	Điện áp đầu vào: 220V, 50/60Hz, sai số điện lưới cho phép ±10%; dây nối đất phải đáp ứng các tiêu chuẩn quốc tế. Không có nhiễu điện từ mạnh xung quanh khu vực lắp đặt thiết bị.
2	Môi trường cài đặt	Nhiệt độ môi trường: 0–40°C; Độ ẩm tương đối: 15%–60%
3	Chuẩn bị nguồn khí	Bình khí đốt cho O₂, Ar, N₂, H₂v.v. (phải được trang bị van giảm áp). Áp suất khí đầu vào ＞0,3 MPa; đường kính cổng ống dẫn khí: Φ6mm
4	Ống xả	Kết nối với cổng xả của bơm chân không (bắt buộc đối với phòng sạch).