Máy kiểm tra và phân loại KGD tự động cho tự động hóa quy trình

Kiểm tra và phân loại chip ở cấp độ chip xử lý công suất; phù hợp với SiC và các thiết bị công suất cao, độ tin cậy cao, hiệu năng cao khác.

Hỗ trợ đánh giá độ tin cậy: UIS lên đến 3 kV, SC lên đến 3000 A.

Hỗ trợ thử nghiệm tĩnh lên đến 3 kV / 600 A (điện áp / dòng điện).

Hỗ trợ thử nghiệm động lên đến 2 kV / 1500 A (điện áp / dòng điện).

Kiến trúc bộ xử lý và kiểm thử tiên tiến giúp tăng hiệu quả; khả năng xử lý UPH toàn diện lên đến 4K (tùy thuộc vào yêu cầu của khách hàng và nội dung kiểm thử).

Độ tự cảm ký sinh thấp và điện trở tiếp xúc thấp đảm bảo tín hiệu sạch, đáng tin cậy, giúp cải thiện độ chính xác của phép thử: - Độ tự cảm ký sinh của vòng thử nghiệm: < 50 nH - Điện trở tiếp xúc của chip: < 10 mΩ

Thông số kỹ thuật

Mục	Thông số kỹ thuật
Tên	Máy thử nghiệm và phân loại KGD
Sản phẩm được hỗ trợ	SiC dạng chip trần
Định dạng đầu vào	Đĩa wafer (6/8/12 inch), dạng cuộn băng, khay tùy chỉnh
Phạm vi kích thước chip	2mm×2mm – 8mm×8mm
Độ dày chip	80µm – 600µm
Thời gian lập chỉ mục	< 700ms (Song song với quá trình kiểm tra)
Kiểm tra điện cảm ký sinh của vòng lặp (hai chip)	< 50 nH
Điện trở tiếp xúc	< 10 mΩ
Kiểm tra song song đa địa điểm	Được hỗ trợ
Các mục kiểm tra chính	Động, Tĩnh, UIS, SC, v.v.
Môi trường thử nghiệm	Nhiệt độ môi trường / Nhiệt độ cao
Phạm vi nhiệt độ	Nhiệt độ môi trường đến 200°C
Độ ổn định nhiệt độ	±2°C @ 3σ, Độ phân giải 0,1°C
Bảo vệ sản phẩm	Bảo vệ bằng khí quyển nitơ
Độ chính xác vị trí đặt	±25µm @ 3σ
Độ chính xác góc đặt	±0,5° @ 3σ
Kích thước thiết bị	3100mm (Dài) × 1400mm (Rộng) × 1900mm (Cao)

Chi tiết sản phẩm