Máy đánh bóng CMP một mặt cho đế bán dẫn

1. Hiệu suất cao và hoạt động ổn định: Đây là máy đánh bóng chính xác một mặt, sử dụng cấu trúc cơ khí tiên tiến và nhiều phương pháp điều khiển tinh vi, mang lại hiệu suất đánh bóng cao và hoạt động ổn định.

2. Hệ thống điều khiển thân thiện với người dùng: Toàn bộ máy sử dụng hệ thống điều khiển PLC + màn hình cảm ứng, cho phép thiết lập và vận hành thông số thiết bị một cách đơn giản và thuận tiện, với độ ổn định hoạt động hệ thống cao.

3. Bảo vệ khởi động/dừng mềm: Động cơ chính được điều khiển bằng biến tần, giúp khởi động và dừng máy một cách mềm mại, giảm thiểu tác động khi vận hành thiết bị và hạn chế tối đa hư hại cho phôi gia công.

4. Điều khiển áp suất độ chính xác cao: Áp suất đánh bóng phôi được tạo ra bằng cách nén khí trong xi lanh, và việc điều khiển áp suất vòng kín được thực hiện thông qua van tỷ lệ điện tử, đảm bảo độ chính xác và ổn định cực cao khi áp dụng áp suất.

5. Hệ thống truyền động chủ động để đánh bóng đồng đều: Tấm ép phía trên sử dụng chế độ truyền động chủ động, đảm bảo tính đồng đều của quá trình đánh bóng tại mỗi trạm đồng thời đảm bảo tốc độ đánh bóng sản phẩm.

6. Hệ thống làm mát để đảm bảo ổn định quy trình: Cả tấm đánh bóng và tấm ép phía trên đều được trang bị chức năng làm mát bằng nước, tối đa hóa hiệu quả của dung dịch đánh bóng đồng thời giảm thiểu biến dạng bề mặt tấm đánh bóng.